国家知识产权局信息显示，昆山灵科传感技术有限公司取得一项名为“一种测压设备”的专利，授权公告号CN223859619U，申请日期为2025年1月。

　　专利摘要显示，本实用新型的实施例公开了一种测压设备，用于与吸附设备连接，吸附设备具有用于承载晶圆的承片台，承片台上开设多个吸附孔。测压设备包括支撑座和检测装置。支撑座有第一面和第二面，第一面与承片台贴合，支撑座上开设多个贯通的测压孔。测压孔与吸附孔相连通，在支撑座的厚度方向上，相连通的测压孔与吸附孔的投影重叠。检测装置与测压孔一一对应，检测装置包括基板和测压芯片，基板有第三面和第四面以及开设有贯通第三面和第四面的通气孔，测压芯片与通气孔相对而设，相对应的通气孔和测压孔相连通。本申请通过将吸附孔的气压的测量点移动到吸附孔的端口位置，缩短了测量路径，避免了因管路传输而引入的压力损耗问题。

　　天眼查资料显示，昆山灵科传感技术有限公司，成立于2018年，位于苏州市，是一pp电子平台家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本10600万人民币。通过天眼查大数据分析，昆山灵科传感技术有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目6次，财产线条，此外企业还拥有行政许可10个。

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