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欧姆龙成功事例半导体生产中的foup到位检查应用

文章来源:小编 更新时间:2026-05-01 09:23:04

  1、不同种类的FOUP盒会因材质、颜色、重复使用导致的老化等各种因素影响检测,难以实现统一的稳定性评估标准。

  2、open cassette质量较轻,难以正确下压驱动销,导致漏检的情况产生。

  3、因生产要求,需要在机械手上直接安装传感器。但机械手上的空间有限,传感器难以安装。

  ■与半导体FOUP盒规格相契合,不受材质、颜色、反射率、重量等各种影响,准确检测FOUP盒的落座情况。

欧姆龙成功事例半导体生产中的foup到位检查应用(图1)

  ■以光学方式检测驱动器的动作,对下压力的要求较低,即使是质量较轻的open cassette也可以进行稳定检测。同时, EE-SA701/801的机械寿命达500万次以上,实现超长使用。

  ■EE-SA701/801采用薄型设计,备有柔韧性佳的耐曲折导线型,可实现搬运臂上的嵌入式安装搭载。

欧姆龙成功事例半导体生产中的foup到位检查应用(图2)

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